閹割版的出口光刻機，全部採用石英透鏡。

石英有良好的光學效能，化學效能也很穩定，光科技運轉的時候，能保證紫外光傳輸穩定。。 石英透鏡技術，早在五十年代就出現了。

鑑於製造技術，石英透鏡多為球形或圓柱形，加工簡單，能保證加工精度。 實踐中。

也有人把石英透鏡製造成非球面形狀。 用在一些精度需求不高的地方。

光刻機精度要求高。

只有球面和柱形石英透鏡才能滿足精度要求。

石英透鏡技術從五十年代出現， 一直用到七十年代，中間有多次改良，改良幅度都不大。 仍然是以球面和柱狀為主。

石英透鏡製造簡單，缺點也“零六零”十分明顯。 首先。

使用石英透鏡，容易引起球差、慧差和像散等光學問題，這些問題會造成成像失真，影響光刻機效能。 限制了晶片精度。

同時。

因為石英透鏡是球面狀的，或者是柱狀的，造成焦點深度相對較淺。

焦點深度和清晰成像範圍成正比，焦點深度越淺，精細成像範圍越小，限制了光刻機的效能。 其次。

石英透鏡工藝侷限和設計侷限，限制了它的最小加工精度。 是用石英透鏡，最小精度都是微米級。

除非有革命性的加工工藝進化，或者換一種材質的透鏡。 否則。

加工精度突破不了微米。

第三就是加工精度限制。

石英透鏡表面是圓形的，或者是援助型的，看起來很圓滑。 實際從微觀角度觀察，很難做到標準的圓。

肉眼看不出來，因為肉眼的精度有限，可一旦用在光刻機上，精度到微米級別，影響就很大。 會導致成像不穩定，導致光學畸形。

出口的閹割版光刻機，用的都是石英透鏡，因為成像不穩定和光學畸形，廢品率就會很高。 廢品率高。

成本分攤到成品上。

造成晶片的成本普遍偏高。

第三是石英的光學折射率相對較高。

折射率高，就會產生折射效應和衍射效應，會造成成像模糊，在一定程度上影響精度。 即使是這樣。

對其他國家來說。

龍國出口的光刻機已經是非常先進，精度非常高，是他們短時間內難以企及的，不得不進口。 要是有自我研發能力還好。

要是沒有自我研發能力， 一直以來進口，就會嚴重限制他們的工業發展，發展速度嚴重落後。 龍國自己用的第一代光刻機，用的也是石英透鏡，但加工技術不一樣。

用的是拋物面透鏡技術。

透過非球面鏡改善相差，相比球面鏡，柱鏡片，拋物面透鏡有更高的精度。

拋霧面透鏡技術，相比球面透鏡技術，複雜很多，加工難度高很多，加工成本也跟著上升。

導致拋物面透鏡比球面透鏡貴很多。 同時。

拋物面透鏡也不完美。

非球面，光線在進入透鏡的時候，折射角度會有所變化，會導致曝光區域的光強度分佈不均。

導致圖案畸形，或者不完全曝光。 這些都會影響光刻機的精度。

比拋物鏡技術更先進的技術是布拉格透鏡技術，能製造出一種有周期性變化折射率的光學元件。

這種技術出現在八九十年代。 製造技術更復雜。

成本更高。

萬興邦沒有采用布拉格透鏡技術，而是採用了更先進的非球面透鏡技術。

萬興邦穿越之前，在繁華年代，最先進的光刻機使用的透鏡，用的技術就是非球面透鏡技術。 相比傳統透鏡。

非球面透鏡技術優點很多，全方位超越傳統透鏡。

第二代光刻機的技術，不僅在六十年代是領先的，就算再過五六十年，很多技術也不過時。 同時。

第二代光刻機採用了接觸式近場光刻技術。

而第一代光刻機，包括出口的閹割版，用的都是遠場光刻技術。

遠場光刻技術缺點非常明顯。 首先受光的衍射限制。

應用遠場光刻技術的光刻機，精度根本達不到奈米級別，造成傳統光刻機無法應用在奈米領域。 也處理不了特徵尺寸非常小或非常大的圖案

罪魁禍首就是光的衍射!

在加工特徵尺寸非常小的圖案的時候，由於光的衍射效應，造成解析度有限，無法準確複製