。這裡由於只是實驗性質,無塵室設計的並不大。只是一個大概百來平的小實驗室而已。
但即使如此,仍然還是看的王中陽讚歎連連。
“這就是1k級的無塵室?”王中陽穿著防塵服,有些好奇的上下打量著。
京東方這兩年雖然境況好轉,從破產的邊緣爬了回來。但要說真的手裡有多少餘錢,卻也不可能有泛翰集團這麼財大氣粗。
王中陽在組建液晶預研小組的時候,也曾經打算過要上一個1k級的無塵室。可是經過幾次詢價,他的這個念頭就被打消掉了。
1k級的無塵室用的裝置國內目前還提供不了,全套建設、施工和裝置以及耗材都要從國外進口。建築成本,一平米就要10萬人民幣。如果要建設一個100平米的實驗室,光建設成本就超過了1000萬人民幣的造價,這還沒算上實驗裝置。想建的小一點,單位成本就要劇增,因為100平米用的空調系統已經是最小的了。實驗室規模再小,反而更加不經濟。
不僅建設成本貴,建起來還不算完。這樣一個實驗室的維護成本,一個月還要10萬人民幣。
裡外裡算了半天帳,王中陽最終也沒下了這個決心。
“王總這邊請。”周碩安靜的燈王中陽參觀過了無塵室,然後站到了實驗室的中央。這裡有一個大概三米長、兩米寬的裝置,看起來應該是中科院微電子研究中心出品的0.8微米工藝光刻機。
只不過如今這臺光刻機很多地方,已經顯得和它原始的樣子有些面目全非了。
最明顯的地方,應該是它的工作臺。原來用於光刻單晶矽晶圓的工作臺,現在已經被加大了數倍面積。由此帶動的傳動、對準等子系統的改進,可以說和重新設計一套光刻機系統也沒什麼區別了。
這還要多虧了尼康無私提供的光刻機成套設計資料,很多地方泛翰集團都參照尼康的技術對這臺光刻機進行了改造。
而它之前複雜的稜鏡系統也進行了精簡,由於採用了接觸式沉浸光刻技術,生產晶片用的複雜鐳射系統被極大的精簡,但仍然保持了0.8微米的工藝水準。
造液晶面板不可能像晶片一樣複雜,液晶顯示器的光刻面積遠超製造晶片的晶圓,如果讓液晶顯示器高的和同等面積的cpu一樣,這恐怕就沒人能買得起了。
王中陽雖然不懂光刻機,但沒吃過豬肉總見過豬跑。憑藉松下合資方的優勢,他可是廢了老大的勁兒才去過一次松下的液晶生產廠。雖然那不是一次愉快的參觀記憶,但還是讓他對ito光刻機有了一個初步的認識。
和他記憶中松下的生產裝置比起來,單看賣相泛翰集團這臺裝置也不輸給他們了。和土鱉產品的傳統不同,這臺經過改造的0.8微米光刻機效能如何不說,單看造型和塗裝就有晃瞎人眼的效果。
王中陽幾乎是貪婪的看著這臺光刻機,和當初看到日本人光刻機時候的心情完全不同。這次他的心裡不再是壓抑和惴惴不安,而是充滿了驕傲和自豪!
光刻機!光刻機!光刻機!
多少人的命運,將會因為你而改變。多少人的夢想,將憑藉你去實現。多少神奇的技術,有了你才有成功的希望!
而且,這是我們中國人的光刻機!你可以把臉貼在監視視窗上,甚至是用放大鏡去觀察它的機械結構。不會有人命令你退後到五米距離以外,不會有人在進入和離開的時候對你搜身,同樣也不會有人對你的提問緘口沉默……
“哈哈哈哈,好,好哇!”王中陽笑道:“有了這個,我們要讓日本人也知道,中國人一樣能夠掌握核心技術,一樣可以生產出液晶面板來!”
“王總。”周碩走上前來,拍著王中陽的肩膀,輕輕笑道:“日本人早晚會知道,今天他對咱們帶搭不理,明天咱們就讓他高攀不起!”
“對,我們要讓日本人對咱們高攀不起!”王中陽的雙目在這一刻,迸發出耀眼的光芒。(未完待續)