術進行詳細的說明。為什麼能夠實現這種技術水平，以及如何保證能夠持續實現。某種設計的優勢在哪裡，設計的思想是什麼……

在高科技裝置的招標中，大家都是極少只看資料的。一方面紙面資料的可靠性差，理論資料和實際應用中的情況有差別。另一方面紙面資料能夠表現的細節少，有時候無法完全描述高科技裝備的效能。

雖然這次招標不投暗標，也不搞競拍價低者得。但招標的規則，仍然是要貨比三家。在每一個關鍵點上進行比較和打分，然後匯總最終結果，選出分值最高或者最和招標方心意的方案。這套規則是後世普遍使用的招標方式，周碩也算提前介紹到國內來了。

“第一項，關於光刻機的加工精度。華晶集團要求，投標方提供的光刻機，加工精度必須達到0.5微米級別。關於這一點，請各位做出說明。”

方劍閣鎮定自若的坐在主位上，透過揚聲器將自己的話傳遍了整個會場：“請尼康公司的代表先回答，然後按照阿斯麥、佳能和泛翰集團的順序，依次進行發言。”

對這種招標方式白石茉莉奈倒是毫不陌生，她清了清嗓子落落大方的說道：“尼康公司推出的0.5微米工藝nsr-0500d8f光刻機，採用高密度石英材料鏡頭……”

尼康和阿斯麥、佳能這三家的光刻機，市場上早就已經耳熟能詳，如今老調重彈大家自然沒有什麼激情。但是輪到周碩的時候，不僅是方劍閣，就連其他三家公司也都緊張起來。泛翰集團如今代表的不僅是自己，更是中國光刻機領域的領先水平。究竟中國有沒有真材實料，只有這時候才能見真章。

“我們泛翰集團推出的0.5微米工藝光刻機，型號fh-500bj。使用步進式重複投影曝光技術，使加工晶片的線寬能夠達到0.5微米級別。掩膜板縮小比例4比1，曝光區域。一共使用了十八組稜鏡，二十三組透鏡……”

三家光刻機廠商的代表越聽越是吃驚，從周碩所說的技術細節來看，中國人竟然真的已經徹底掌握了0.5微米光刻機的全部關鍵技術！可是這些技術的資料在公開渠道，是不可能蒐集到的。何況是被嚴密封鎖的中國大陸企業，除非真的吃透了這些技術的精髓，否則根本無法得到這些資料。

“周桑，關於你的描述裡有一點，能否請你解釋一下。”競標過程裡，競標對手間互相進行詰問也是保留專案了，白石茉莉奈當然不可能只做一個看客：“在透鏡的介紹中，我發現你們只使用了二十三組。但是根據我們的計算，想要實現多次曝光，最少也需要二十五組鏡頭。能否解釋一下，為何你們少用了兩組？”

周碩抬頭看了看這個美豔的日本女人，面不改色的點了點頭說道：“fh-500bj最初的設計中，確實是使用了二十五組鏡頭。但後來我們發現可以對第八組光刻鏡頭進行最佳化，只要把鏡頭的弧度根據夏爾謝夫公式進行重新設計，就能節省兩組鏡頭的使用。”

“夏爾謝夫公式？”白石茉莉奈愣了愣，奇怪的說道：“我怎麼沒有聽說過這個公式？”

當然沒有什麼夏爾謝夫公式，其實原因很簡單，周碩前世工作的實驗室裡，就有一臺尼康生產的0.5微米步進式光刻機。由於是二十一世紀的產品，為了節約生產成本尼康公司對其進行了最佳化設計。透過後來開發的先進技術，最佳化了鏡片的設定。使得鏡片數量從二十五組減少到了二十三組。

而周碩在進行試驗的時候，早就已經對這臺光刻機的條件摸的爛熟。如今把這個技術點丟擲來，當真是用尼康的技術，打了尼康一個措手不及。

“哦，這是我們公司聘請的俄國工程師夏爾謝夫先生的成果。”周碩滿嘴跑火車，心裡笑道內傷道：“他是前蘇聯羅蒙諾索夫實驗室的一名研究員……”