造那是拼基礎積累的領域,但拼化學和系統設計,中國人可是太有信心了。
傳承自蘇聯的中國科學家,在系統設計方面可是深諳如何用巧妙方法克服困難要求的。至於某些方面技不如人的自卑。那就完全沒有必要了。這種處境既可以叫窮國的無奈,也可以叫發展中國家的後發優勢,全看人們從什麼角度解讀了。
以中國未來取得的成就來看,大可自豪的說是屬於後一種角度。
“唔,我看這個路線說不定可以。”塗岸北緩緩的點了點頭,笑道:“周校長這個辦法確實是奇思妙想,我看有嘗試一下的必要。”
“我也覺得能成。”他身邊之前質問周碩的中年男人,也不自覺的點頭道:“如果光刻膠的防溶解配方一時拿不出來,我看可以增加一組鏡頭把水和晶圓隔離開。”
“水中的氣體可以透過真空法去除,這樣我們就只需要考慮蒸發造成的擾動了……”
這十四個研究狂人,在周碩指出了路線之後,很快就一個個都找到了自己專業的切入點。絲毫不在意之前自己還對這個計劃表示反對,和實打實的科技成果比起來,面子值幾個錢?國家投入十幾個億,花費了三年時間才把工藝從1.2微米推進到0.8微米。如果被自己從0.8微米再推進到0.5微米,恐怕當前實驗室裡又要多幾個能領國.務.院津貼的了吧!
周碩笑著點頭道:“大家不要著急,我已經為你們每個人的研究內容,專門寫了個計劃書。接下來一個月,我們只要能夠按部就班的完成計劃書裡的研究任務,肯定就能準時的拿出0.5微米工藝生產線。”
塗岸北看著周碩從一旁推出來的檔案車,窘迫的笑著搖了搖頭說道:“之前真不應該懷疑周校長,你可從來都是謀定而後動啊!有這種東西也不早拿出來,不然哪來這麼多麻煩?”
周碩拱了拱手,笑嘻嘻的說道:“怪我、怪我,塗老你千萬大人有大量!”
這也是周碩一直以來在研究管理上的心得,直接上來就拿出試驗計劃,下面人難免會覺得反正是老闆的專案,做起來多少會有些懈怠沒有動力。但如果事先透過啟發的方式,讓下面人瞭解了自己的思路和意圖,那麼他們就會把這個實驗當做是自己驗證知識的過程。可別小看這似乎多此一舉的行為,周碩又不是全知全能的神。給出的試驗計劃裡難免有疏漏和謬誤的地方,研究員的積極性和主觀能動性這時可就是實驗成敗的關鍵了。
眾人從周碩推出來的檔案車上, 取了自己負責方向的計劃書。在超淨室裡面,即使是紙質檔案也不能裸露出來的,每一份檔案的每一頁,都是用透明塑膠進行了嚴格的密封。這讓他們拿到手裡之後,計劃書顯得頗有分量。
塗岸北翻了幾頁實驗計劃書,感嘆的向周碩問道:“既然有這樣的技術,我們何必去買日本人的裝置?改造一批國產的0.8微米工藝生產線,我們立刻就能追上國際主流水平了。”
周碩微微搖了搖頭,遺憾的說道:“這就是我把它命名為杜鵑計劃的原因,沉浸式光刻機在目前的技術上並不成熟。又不是待著沒事我才把實驗室設在地下的,建造成本就多出來不知道多少倍造價。但地下實驗室也有很多好處,比如說溫度恆定、精密裝置受到的干擾少等等。要知道沉浸式光刻機的關鍵在水,而水一旦受到一絲晃動,放大到晶片上都是不能接受的。”
“我們的0.5微米工藝,除了光源以外仍然是0.8微米的底子,這勢必就會造成生產困難和良品率極低。只有讓日本人相信我們已經掌握了0.5微米工藝,為了扼殺我們的研究成果,開啟向國內供應0.5微米生產線的口子。接下來得到他們的0.5微米線,才能補全這條線的工藝基礎。”
他斬釘截鐵的說道:“只要能夠真正和美、日站在同一個起跑線上,我不信中國人就一定會在這場比賽中仍然落敗。”