“北大路先生，你看我們的鐳射技術怎麼樣？這套準分子鐳射裝置，是我們泛翰研究院自行研製的，能夠生成波長的紫外鐳射。”趙大健陪著笑，將日本檢查團領進了實驗室。

一七三所前研究員江清月，正是在這個實驗室裡，進行著自己的工作。所謂準分子鐳射，並非是對鐳射本身屬性進行的描述，而是特指的發出鐳射物質為準分子。

準分子鐳射一般是由氙氣二聚體等惰性氣體或鹵素氣體，受到電子束激發形成的鐳射。光子能量波長範圍在157－之間，由於鐳射是在氣體受到外來能量的激發，所引起的一系列物理及化學反應中，曾經形成但轉瞬即逝的分子發出的，所以被稱之為準分子鐳射。

這種鐳射的一個特點是壽命極短，只有幾十毫微秒的時間。超過這個時間，發出鐳射的分子，就會迅速還原成原本的氣體狀態。其中波長的鐳射，就是用來作為治療近視等眼部疾病使用的鐳射刀。同時的鐳射也是後世光刻機普遍使用的波長。

江清月在眾人進入的時候，正操作著一臺氟氬氣體激發的準分子鐳射器，測試將鐳射光源進行多次聚焦之後再恢復成平行狀態。

城三太郎幾乎是看到的第一眼，心裡就大喊了一聲“八嘎雅路！”。從幾組透鏡的佈置來看，泛翰集團顯然已經是在研究0.35微米工藝的光刻機了！光刻機的加工精度不同，使用的透鏡數量、種類和佈置都有非常多的講究。

作為尼康光刻機專案的參與者，城三太郎對當前最先進的0.35微米工藝光刻機，透鏡的佈置當然是瞭若指掌。他百分之百的肯定，泛翰集團目前已經摸到了這項技術的門路，實現技術突破恐怕只是時間問題了！

“趙部長，你這是做什麼？”江清月看到一行人擠進了實驗室裡，皺著眉頭問道。

“小江啊。快來我給你介紹一下！”趙大健呵呵笑著，擺了擺手說道：“這是日本東芝來咱們泛翰研究院的考察團，給國際友人們彙報一下咱們的研究進度，說不定還能給你的專案指點一二呢。”

江清月疑惑的看了趙大健一眼。她在泛翰研究院只是比較基層的研究員，級別是比不上趙大健的。但趙大健負責的是運營部，本身又管不到技術部的事情。她抬頭向外面看去，卻見到笑扉扉站在門外微微的點了點頭，這才放下了心來。

“我們的試驗正在測試高密度石英材料製作的鏡頭，在經過多次反射折射之後，進行色差補償的方案……”

“色差補償！”城三太郎微微一愣，臉上的表情就有些僵硬了。如果說之前他還只是懷疑，那麼聽到江清月的研究內容，就幾乎是坐實了泛翰集團在0.35微米工藝的技術上。肯定是取得了不小的突破。色差補償是光刻機研究領域，非常重要的內容。透過使色差最小化，能夠抑制由鐳射頻寬變動所引起的光學鄰近效應。比如區域性光斑、入射角和熱象差、偏振狀態控制能力的保持。

這些技術難題，直接決定了反射鏡的數量與型別。這些鏡頭設計的細節，每一點改進都意味著距離成功更近了一步。

“我能看看你們的實驗記錄嗎？”城三太郎還是非常謹慎的提出了他的要求。中國人或許可以擺一個花架子來騙他，但絕對沒有辦法編出一套正確的實驗結果來。如果這種實驗記錄都能編出來，那更說明他們掌握了這項技術……

“小江，還不快把你們的實驗記錄拿出來，給城三太郎先生看看？”趙大健說著，還回過身來致歉道：“城三先生是東芝方面的光刻技術專家，您稍微指點兩句。肯定會讓我們獲益良多。”

“哪裡，我想以中國人的智慧，一定可以取得讓我刮目相看的成績。”城三太郎見江清月取來了實驗記錄，也就不在意多客氣兩句了。在日本越是受教育程度高的人，對漢語閱讀就越流利，倒是不用擔心他會看不懂實驗記錄。

城三太郎開啟實驗記錄。粗粗的掃了兩眼，不由得就是暗自心驚。各種光波在不同材質之中穿行，產生的變化都不相同的準分子鐳射，想要應用在光刻機上，就必須對鏡頭進行全新設計。在此之前就必須詳細的試驗新材料。全面的瞭解鏡頭對鐳射產生的所有影響。

從實驗記錄的結果上面來看，顯然泛翰集團已經對高密度石英，進行了全面的鐳射測試。測試進度至少已經達到了80%的水平，要知道當全部測試完成之後，接下來要進行的就是鏡片設計工作了。進入這個階段，基本就可以看做是0.35微米工藝光刻機技術開發，進入到最後的步奏了。

“趙桑，這些資料都是你們自己