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第二百七十七章 良品率

國產0.8微米工藝積體電路生產線,與其說是為了振興國家的電子產業,不如說是為了解決有無問題。水印廣告測試 水印廣告測試( 平南拉牛牛在沒有市場需求的前提下,僅憑藉科研院所和國防工程的訂單,中科院微電子中心根本吃不飽。為了開發0.8微米工藝的技術,國家歷時三年時間投入了五個億的資金,才最終完成了整套裝置的研發。但向國內供應的裝置價格,最貴的光刻機也不過才百萬人民幣而已。

這條生產線不僅僅是需要解決光刻機的問題,像是等離子刻蝕、氣象沉澱裝置,這些都是核心裝置。此外像是擴散爐、離子源,挑片、舉片機,焊接機、鍍膜機、清洗機,一塊不起眼的積體電路如果想走下生產線,起碼要經過上百道工序,歷時十幾、幾十個小時不可。

這還只是晶片生產的前道工序,若是再算上封裝、測試等後道工序,裝置清單能再增加幾倍的長度。

這些哪怕全部都是國產裝置,建設一條積體電路生產線,也至少需要十幾億人民幣。

在這樣高的投入和稀薄的產出面前,中科院微電子中心的生意可想而知。哪怕是面對他們認為“大言不慚”的泛翰研究院,只要拿出真金白銀來,產品也一樣是照賣不誤。

從1995年上半年0.8微米工藝技術定型,實際上中科院微電子中心最大的買家,就是泛翰研究院。周碩前前後後下了三條生產線,價值將近一個億的訂單。結果搬空了微電子中心的倉庫,也不過才湊齊了一條半生產線而已。至於三條線全部配齊,起碼也要到1996年了。

但作為國家研究機構,微電子中心仍然是該賣裝置賣裝置。該罵你一樣罵你。沒辦法,誰叫人家是國內最權威的半導體研發機構。如果從級別上來看,說它是中國半導體學界的武林盟主也不為過……

當然哪怕只是一條生產線,若是日本尼康的產品月產量也能達到三萬片。若是荷蘭阿斯麥的產品。月產量五萬片也毫無問題。但國內技術不論是良品率還是自動化程度。都遠遠不及這兩家。尤其是0.8微米工藝基礎上倉促改造而來的0.5微米工藝生產線,良品率更是在原本就不高的產量上跌了一大截。

“周桑。nand快閃記憶體的生產相關工藝就是如此了。雖然你們的裝置要比我們東芝的差一些,但完成生產流程是沒有問題的。”中村晴樹翻看了一下相關裝置的引數設計,肯定的說道。

東芝雖然不怎麼看得上這樣的小生意,但多少秉持著日本人的謹慎性格。還是派來了一個靠譜的技術人員。在中村晴樹的指導下,積體電路設計方案直接使用了東芝的技術,掩膜、光刻和擴散、沉降等技術引數經過不斷的除錯,也都已經準備就緒。

在中村晴樹認可之後,周碩也有些興奮的向光刻機前的麻友公點了點頭。

麻友公操作著裝置,將已經拋光和清洗完畢的晶圓,放入到光刻機中。接下來的工作。就不再是需要人為干預的了。

何況蜂巢實驗室作為泛翰研究院的核心實驗室,也不方便讓中村晴樹一個日本人呆太久,周碩連忙將他送了出去。

十三個小時之後,完成了八十三道工序的晶圓。經過最後一次清洗終於完成了它的加工歷程,安靜的躺在了實驗臺上。

此時,蜂巢實驗室的十四位研究員全部聚集一堂,都圍攏在負責測試用的測頻儀前面。就像cpu在出廠之前,需要先進行測試一樣。晶片在製造過程中,總是難免會出現各種各樣的問題,導致一些殘次品或者缺陷。這時候,就要透過測頻確定它們的質量。

有缺陷的晶片被製造成低頻的cpu,透過邏輯遮蔽掉一部分功能,作為低端產品進行出售。而沒有缺陷的cpu則以完整的功能,作為高階產品進行出售。所以才會有一些cpu產品透過開核,來獲得更好、但更不穩定的效能。

和cpu檢測一樣,nand記憶體在封裝之前,也需要對其進行測試。不僅要獲得其具體的效能資料,也要透過產品的缺陷推導製造工藝存在的問題。

一張的晶圓上,這時表面上已經佈滿了流光溢彩的花紋。這是透過氣象沉澱,附著在晶圓上面的有色金屬。這張晶圓上面密密麻麻的分佈著30塊晶片所需要的積體電路,透過對它們的測試,將可以得到這條0.5微米工藝生產線運作的具體資料。

“合格,合格,不合格,合格,不合格……”

30塊晶片的積體電路,不斷的完成測試。每一次合格,都能激起周圍研究員們激動的歡呼,每一次不合格,也都能讓他們發出