王中軍若有所思，沉吟著說道：“不過，這確實是一條路子。”

正常的科研計劃，當然是要考慮經濟效益的，需要循序漸進來逐漸將一項技術發展成熟，然後再進行下一代技術的研發。

誰都知道碳化矽、氮化鎵這些材料比矽晶圓的效能更好，但半導體產業還不是在吃單晶矽這條路線，還不知道要吃到哪一年去呢。

不把單晶矽的潛力挖光、不在經濟上無利可圖，產業界怎麼有動力去更新換代？

但問題是，如今擺在王中軍面前的並不是一個正常的研發專案。

微奈米級的奈米光柵，不僅時間緊、任務重，而且還關係到國家戰略。就是在這個時候，我們才有一個優勢，可以不去講所謂的經濟規律，去拼盡全力的做一件事。

在這一代中國人心中，時代的使命感仍然充滿了崇高的精神。

成本，並不應該在王中軍這個專案的考慮之中。

“我們必須推翻目前的技術路徑，蝕刻法的加工精度是無法滿足需求的。我們必須要有更高的加工能力，必須跳出目前的半導體加工思路……”

“更高加工能力……原子力顯微鏡怎麼樣？”

王中軍的自言自語，讓所有人都有些目瞪口呆。

“主任，你想怎麼用原子力顯微鏡？那個咱們所一共也沒幾臺，所長寶貝著呢！”

原子力顯微鏡在九十年代的中國確實是個稀罕玩意，不僅貴而且還不好買。實驗室裡要是有一臺，就好像學校裡開的機房一樣，恨不得拿白布好好罩起來，誰也別用。

而且國內對原子力顯微鏡的應用還處於摸索階段，屬於那種拿它隨便掃描一片樹葉，都能到期刊上發一篇論文。

這麼寶貝的裝置，就怕王中軍獅子大開口，佔用了其他實驗室的份額。

“原子力顯微鏡有三種操作方式，分別是非接觸式、接觸式和輕敲模式。”王中軍的眼神忽然明亮起來，笑容中多了一些自信：“如果我們將輕敲模式的程序設定為負數，其實它的探針完全可以在材料上進行極為精細的加工啊！”

“可是……”

下面有人情不自禁的搖頭：“這樣一來，那探針也廢了吧？”

原子力顯微鏡的原理並不複雜，就是用一根針頭去“摸”出一幅影象來。針頭可以和操作物件接觸、不接觸或者接觸之後迅速離開——也就是輕敲模式。

當針頭與被掃描物體接觸，就會有多種力在這個過程中產生影響。透過對這些資料的計算，就能得到掃描的影象了。

可想而知，這樣的探針必然是非常脆弱。像半導體所這樣主要觀測硬質材料，大多數時候使用的都是非接觸模式，即使如此還經常會因為碰到材料突起導致探針損壞。只有觀測生物材料等軟質材料的時候，才會使用接觸掃描。

正常使用中如果有誰敢把探針程序設定為負數，那他這輩子都別想進實驗室的大門了。

“不對，IBM前幾年就用原子力顯微鏡操作過單個原子，所以這個路線應該是可行的。”

“IBM只是刻了三個字母，我們要刻幾百條光柵線，探針不知道要用掉多少，這成本差別也太大了！”下面的研究員聽的都快要瘋了，這種實驗設想如果被所長知道，光柵實驗室非得做一輩子冷板凳吧！

“探針？一個探針大概是兩百美元，如果我們用進口探針，那確實太貴了。”

“但這個設想的難點不在成本，而是花錢也沒有現成的探針可以用。為了在單晶矽上刻畫光柵，我們需要矽探針，這樣在刻痕的過程中才不至於汙染材料。同樣我們也需要解析度更高、更容易被去除雜質的針頭，矽材料很難做到我們需要的解析度精度，此外還需要新的刻蝕方法……”

想到這裡，王中軍不僅沒有著急，反而是鬆了一口氣。

做科研不怕累、不怕浪費腦細胞，只怕找不到前進的方向。

當找到這個思路之後，他的腦海裡迅速將這條路徑需要解決的問題大致的列了一遍。問題不少、而且不小，但是，肯定有實現的可能！

就像劉慈欣在《朝聞道》裡說的那樣，相比於人類意識到宇宙存在所用的時間，人類從牛頓到誕生出愛因斯坦不過是一瞬間而已。

“如果說那個原始人對宇宙的幾分鐘凝視是看到了一顆寶石，其後你們所謂的整個人類文明，不過是彎腰去拾它罷了。”