關燈 巨大 直達底部
親,雙擊螢幕即可自動滾動
第81章組裝光刻機

主要根據晶片的設計目的,進行邏輯設計和規則制定,並根據設計圖製作掩膜,以供後續光刻步驟使用。

而ic製造,就是半導體晶片的製造了。

一般,要實現晶片電路圖從掩膜上轉移至矽片上,並實現預定的晶片功能。

包括了光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。

至於ic封測,就是完成對晶片的封裝和效能、功能測試,是產品交付前的最後工序。

ic設計,蔡晉就不用擔心,掌握著各種規格製程的工藝技術。

ic製造,光刻又是半導體晶片生產流程中最複雜、最關鍵的工藝步驟,耗時長、成本高。

其中的難點和關鍵點,在於將電路圖從掩膜上轉移至矽片上。

這一過程,目前只能透過光刻,才能最有效的實現。

所以,光刻的工藝水平,往往直接決定了晶片的製程水平和效能水平。

而光刻的原理,實際上非常簡單。

在矽片表面覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,再用光線透過掩模照射在矽片表面。

被光線照射到的光刻膠,會發生反應。

此後,再用特定的溶劑洗去被照射或未被照射的光刻膠,就實現了電路圖從掩模到矽片的轉移。

這和中國古代的印刷術,實際上有一些相似之處,但光刻技術卻比印刷術難了千萬倍。

一般的光刻步驟,有氣相成底膜、旋轉塗膠、軟烘、曝光、顯影、堅膜。

接著,就是進行檢測,主要是顯影檢測,讓合規的矽片進入後續的蝕刻流程。

所謂蝕刻,便是透過化學或物理的方法,有選擇地從矽片表面,除去不需要材料的過程。

完成之後,就能透過特定溶劑,洗去矽片表面殘餘的光刻膠了。

當然,這是最簡易的光刻步驟,在實際生產製造中,比這複雜了上百倍。

蔡晉從開始光刻,到最後洗去殘餘的光刻膠,幾個步驟,就足足花了三個多小時。

當然,這裡面也是有他剛剛接觸光刻機,操作不順手的因素。

看著這生產出來的300n晶片,蔡晉臉上露出了笑容。

雖然是低端晶片,但是這是好的開始。

他的目標,又不是這些300n晶片,切確地說,不是為了晶片。

而是光刻機。

透過不斷使用光刻機,去升級光刻機,這才是他的目的。

解決了製造機器,那麼用機器來生產,就完全不是問題了。

為您推薦